重磅！杭州中欣 12 英寸國(guó)產(chǎn)單晶硅晶棒及硅晶圓片首次亮相

7月1日消息在半導(dǎo)體行業(yè)盛會(huì) SEMICON CHINA上，杭州中欣旗下 12 英寸單晶硅晶棒及硅晶圓片首次重磅亮相。

官方介紹，把重達(dá) 300kg 的大家伙 12 英寸單晶硅晶棒制成薄如鏡的 12 英寸硅晶圓片，需要?dú)v經(jīng)哪些流程的考驗(yàn)？且讓我們來(lái)一探究竟！

獲悉，晶棒要變身成為硅晶圓片可不容易，從晶棒截?cái)?、切片，到研磨、拋光、洗凈，在進(jìn)入最后的包裝運(yùn)輸環(huán)節(jié)之前，共需要經(jīng)歷 12 道關(guān)卡的考驗(yàn)。杭州中欣目前擁有國(guó)內(nèi)屈指可數(shù)的、真正可實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的 12 英寸生產(chǎn)線。

中欣產(chǎn)線擁有完善的 DSG 雙面研磨和 SSG 單面研磨制程設(shè)計(jì)，可確保不會(huì)留下研磨痕跡。

完善的 AC2000P4 DSP 雙面拋光系統(tǒng)為實(shí)現(xiàn)硅晶圓片的表面平整保駕護(hù)航。

采用先進(jìn)的 CMP 化學(xué)機(jī)械拋光和單片洗凈系統(tǒng)，有效減少表面金屬雜質(zhì)。