中微公司發(fā)布用于深紫外LED量產(chǎn)的MOCVD設(shè)備Prismo HiT3?

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司，今日宣布推出Prismo HiT3? MOCVD設(shè)備，主要用于深紫外LED量產(chǎn)。該設(shè)備目前已進(jìn)入全球大多數(shù)領(lǐng)先的藍(lán)綠光LED制造商，此次推出的Prismo HiT3?是中微Prismo系列MOCVD設(shè)備的最新產(chǎn)品。是適用于高質(zhì)量氮化鋁和高鋁組分材料生長的關(guān)鍵設(shè)備，反應(yīng)腔最高溫度可達(dá)1400度，具有優(yōu)異的工藝重復(fù)性、均勻性和低缺陷率。該設(shè)備同時(shí)也為高產(chǎn)量而設(shè)計(jì)，單爐可生長18片2英寸外延晶片，并可延伸到生長4英寸晶片。（科創(chuàng)板日報(bào)）